晶片取置機

 

 

將晶粒切割後的工作物(Work)利用4支吸嘴上推吸附,並利用影像處理進行校準(Alignment)修正後,收納於棧板中的裝置
由於採用X軸線性馬達,可進行雙讀取頭的個別動作,因此具備優異的擴充性。
在中間的交接載台(Stage)部配置檢查單元(Unit),亦可實施各種檢查。
 

■應用案例
A) 在光學讀取頭之後,將影像檢查OK品堆放於tray上
B) 在光學讀取頭之後,將特性檢查OK品堆放於tray上
C) 除平板環供應外,亦可利用影像處理,將隨機供應的工作物整齊排列
D) 其他 因應客戶的各種需求

 
產品規格
加工(Tact) 0.5秒/1個 (不含取放時間)
對象工作物 0.5~5.0mm見方
環形平板(Flat Ring) 4~8吋用環形平板(Flat Ring)
光學讀取頭面 XY方向±80mm
回收棧板 XY方向±80mm 回收tray 22吋×16片/4吋×4片
精度 ±0.02mm以下
設備尺寸 W1500×D1250×H1550mm
  ※可辨識標記為不良品的晶片並進行篩選